半導體行業(yè)作為高新技術產業(yè)，往往被人誤解為“清潔”產業(yè)，但事實上，半導體生產過程中使用了大量有機物和無機物，包括許多有毒有害物質，對環(huán)境危害較為嚴重，如不通過尾氣處理設備對廢氣尾氣加以控制，將會產生較大的環(huán)境污染。

半導體產業(yè)中的有機廢氣主要來源于清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影工序，其中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，主要成分為異丙醇、光刻膠等有機物，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。

揮發(fā)性有機氣體（Volatile Organic Compound）,簡稱VOCs，由于VOCs具有滲透、脂溶及揮發(fā)等作用，對人體直接的影響很大，人體與VOCs接觸或經呼吸進入人體，可能對人體之呼吸道、肺、神經系統、腎等造成危害，所以須加以處理后方可直接排放到大氣中。

目前，針對這種氣體排放，一般采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。有機溶劑廢氣先由吸附式尾氣處理設備Local Scrubber進行吸附處理，再進入中央處理系統central scrubber進行二次處理后排入大氣。

吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上，達到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質，凈化效率高，設備簡單，操作方便，且能實現自動控制。

以上，就是關于半導體工藝中有機溶劑（VOCs）尾氣和尾氣處理設備Local Scrubber的簡單介紹，感謝您的閱讀！