高純氣體系統(tǒng)由專用氣體設備（特氣柜、VMB等）、氣體偵測傳感系統(tǒng)、自控及軟件系統(tǒng)、氣體管閥件等組成；系統(tǒng)的前端連接高純氣體供氣裝置，系統(tǒng)的終端連接客戶自購的工藝生產(chǎn)設備。

特氣柜設備功能設計上——讓人心安

特氣柜能將高純氣體通過特氣管道安全穩(wěn)定的傳輸至使用終端設備，同時保證高純氣體不會因吸附氣體和水分、脫放氣等原因受到污染，保證氣體純度，使氣體滿足生產(chǎn)工藝的純度要求。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）以PLC為控制主體，配合觸摸屏進行系統(tǒng)顯示和設定可實現(xiàn)自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發(fā)時）等基本功能，報警監(jiān)測功能齊全，還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設計，可以滿足不同行業(yè)需求，保證工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。?

特氣柜SEMI S2認證——讓人心安

SEMI S2 ——半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、安全（Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment）。

SEMI S2是針對半導體制程設備供貨商所規(guī)范的基本健康和安全要求安全標準。符合SEMI S2 不僅符合了國際相關規(guī)定，也是半導體產(chǎn)業(yè)的保險公司所要求的必要條件之一。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）通過SIME S2認證，質量和品質都是值得信賴的，能在保證氣體純度的同時，將易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性特種氣體安全穩(wěn)定的輸送到制程生產(chǎn)中，提高產(chǎn)品良率和保障生產(chǎn)安全。

綜上，在高純氣體工藝中超高純電子特氣設備特氣柜無論是在功能設計上，還是使用標準上，都是值得信賴的。最后，感謝您的閱讀！