無論是從國家出臺的新政策，還是芯片行業(yè)的國際形勢，都可以看出半導(dǎo)體芯片行業(yè)要大力發(fā)展的趨勢，生產(chǎn)中尾氣廢氣的處理問題日益突出，外延工藝中尾氣處理設(shè)備local scrubber的使用也將成為一種常見的現(xiàn)象。

其中處理廢氣尾氣無明火，無塵室中不產(chǎn)生火源的吸附式尾氣處理設(shè)備，是半導(dǎo)體制程外延工藝中尾氣處理的常用設(shè)備，通過吸附材吸附治理廢氣中需處理的氣體部分，再通過變色球上的指示劑來檢驗廢氣的排放是否合格。

變色球指示劑的檢驗原理：

指示劑是利用載體（活性氧化鋁）的吸附能力將變色藥劑附著在載體的表面，所以變色球的顏色就會隨著氫鍵之濃度增加度的不同產(chǎn)生顏色的變化。

當制程氣體未破出前，通過的氣體是中性氣體不會含有氫鍵，所以變色球的顏色不會變化；制程氣體破出后，通過的氣體含有H而產(chǎn)生顏色變化（PFCs是中性氣體不會改變變色球的顏色，所以PFCs氣體的破出不能用變色球來辨別）。

上圖便是變色球指示劑在不同濃度下的顏色變化，可以通過變色球的顏色來檢驗廢氣處理效果和判斷吸附材是否還有效，從而保證尾氣處理設(shè)備local scrubber的吸附效率和效果，實現(xiàn)特氣廢氣的治理，避免環(huán)境遭受污染。

以上，便是關(guān)于外延工藝尾氣處理設(shè)備local scrubber的簡單介紹，感謝您的閱讀！