近年來，以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使能保障高純氣體的純度，減少雜質(zhì)污染的配管技術(shù)也日益受到關(guān)注和重視。

首先我們先來簡單了解一下電子行業(yè)中的常見氣體：

普通氣體，也稱大宗氣體 (Bulk gas )：

氫氣(H2)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等

特種氣體(Specialty gas )：

有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6.....等

特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導(dǎo)體氣體分類如下：

1. 腐蝕性/毒性：HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 等

2. 可燃性：H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

3. 助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3等

4. 惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害，如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒;還有AsH3的劇毒性等，這些都是顯而易見的危險，所以對于能安全穩(wěn)定輸送用這些氣體的高純氣體管道系統(tǒng)設(shè)計安全性的要求也特別高。

高純氣配管技術(shù)是高純氣體管道系統(tǒng)中重要的組成部分，包括系統(tǒng)的正確設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測試等內(nèi)容是能否將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)。

綜上，可知?dú)怏w管道系統(tǒng)中，管道是氣體的運(yùn)輸載體，在保障氣體純度的情況下，將氣體安全穩(wěn)定的輸送到用氣點(diǎn)，保證生產(chǎn)安全和質(zhì)量。