半導(dǎo)體廢氣處理Local Scrubber的特性

半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,

可分為:

1易燃性氣體如SiH4 H2等

2毒性氣體如AsH3,PH3等

3腐蝕性氣體如HF,HCl等

4溫室效應(yīng)氣體如CF4,NF3等

由于以上四種氣體對(duì)環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導(dǎo)體廠都以加裝大型中央廢氣處理系統(tǒng).但此系統(tǒng)僅以水洗滌廢氣.故其應(yīng)用范圍僅限

于處理水溶性氣體,無(wú)法因應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣.因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區(qū)域多半離中央廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆炸,無(wú)法確?，F(xiàn)場(chǎng)工作人員之工作安全.因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(Local Scrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣,確保人員安全。

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