對于特種工藝氣體而言，由于在芯片生產(chǎn)中需要與芯片接觸并參與反應(yīng)，因此需選用經(jīng)電解拋光（Electro-Polish）處理的316L不銹鋼管，即SS316L EP管，其耐腐蝕性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使顆粒無從吸附滯留，從而保證氣體的純度。對普通氮?dú)舛?，由于其并不作為制程中的反?yīng)氣體，可以選用經(jīng)光輝燒結(jié)（Bright Anneal）處理的316L不銹鋼管，即SS316L BA管，也可以采用經(jīng)化學(xué)清洗（Chemical Clean）處理的316L不銹鋼管，即SS316L CC管。其Ramax為3-6微米。